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配置說(shuō)明

 1、混料及供應(yīng)桶： 120L*2（HDPE一次成型）

 2、供應(yīng)泵*1（BPS600-2）

 3、循環(huán)功能

 4.、冷卻功能

 5、在線濃度檢測(cè)功能

 6、最大可供應(yīng)CMP數(shù)量：5set

功能

 1、按照工藝要求自己精確配液。

 2、24小時(shí)不間斷供應(yīng)

制作工藝              

 1、設(shè)備尺寸：長(zhǎng)170cm*寬90cm*高185cm

 2、預(yù)留維修空間：前:100cm 后:0cm 左:0 右:0cm 

                              上:60cm  下:15cm

 3、可根據(jù)需求定制設(shè)備尺寸

配置說(shuō)明

 1、化學(xué)品原液200L*8

 2、原液供應(yīng)泵*5

 3、過(guò)濾器，氣液分離器，冷卻。

 4、PH,比重，電導(dǎo)率，壓力，在線濃度檢測(cè)等功能

功能

 1、按照工藝要求不間斷混液；

 2、自動(dòng)判別混液結(jié)果； 

 3、24小時(shí)不間斷供應(yīng)

制作工藝              

 1、標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備尺寸（原液）：長(zhǎng)360*寬160*高185cm

 2、標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備尺寸（混料及供液）：長(zhǎng)400*寬180*高185cm

3、可根據(jù)需求定制設(shè)備尺寸